Der Vorteil von grünem Siliziumkarbid für die Waferpolitur
Grünes Siliziumkarbid eignet sich ideal für die Waferpolitur, wenn eine Kombination aus Härte, Reinheit und kontrolliertem Materialabtrag erforderlich ist. Es schließt die Lücke zwischen kostengünstigem Aluminiumoxid und extrem teuren Diamantschleifmitteln und ist daher die bevorzugte Wahl in der Halbleiter- und Optikindustrie.